Doreza Lijiejing 9 inç me përmbajtje të ulët kloropreni: Standardi i ri në mbrojtje të pastër për prodhimin e gjysmëpërçuesve

Në sfondin e kërkesave gjithnjë e më të rrepta "zero defekt" në prodhimin e gjysmëpërçuesve, dorezat Lijie 9-inç me nitril të ulët klori janë bërë pajisje mbrojtëse të domosdoshme në fazat e përpunimit të pllakave dhe paketimit të çipave për shkak të mbetjeve të tyre të ulëta jonike dhe performancës së lartë të pastërtisë. Përmes përpunimit të specializuar, përmbajtja e klorit në dorezë kontrollohet rreptësisht në ≤50ppm - duke tejkaluar ndjeshëm standardin e industrisë prej 100ppm. Kjo parandalon në mënyrë efektive rreziqet e korrozionit të shkaktuara nga migrimi i joneve të klorurit në sipërfaqet e pllakave, duke përmbushur kërkesat e rrepta të prodhimit të gjysmëpërçuesve për kontrollin e ndotjes mikroskopike.

Gjatë proceseve të litografisë, pastërtia e dorezave ndikon drejtpërdrejt në saktësinë e veshjes fotorezistente dhe rezultatet e ekspozimit. I prodhuar në dhomat e pastra të Klasit 100,000 dhe i nënshtruar heqjes së pluhurit me lazer, ky produkt shfaq emetim të grimcave sipërfaqësore nën 0.2 grimca/inç katror - duke përmbushur standardet ISO të dhomave të pastra të Klasit 3. Kjo parandalon në mënyrë efektive ngjitjen e mikro-grimcave në sipërfaqet e pllakës, duke zvogëluar kështu defektet e litografisë. Dizajni me gjatësi 9 inç siguron mbulim të plotë nga kyçi i dorës në pëllëmbë. I kombinuar me një strukturë elastike të manshetës, ai siguron fleksibilitet operativ ndërsa parandalon në mënyrë efektive derdhjen e pluhurit në hapjen e mëngës, duke përmbushur kërkesat e rrepta për mjedise dinamike të pastra në proceset e litografisë.

Gjatë proceseve që përfshijnë reagentë shumë korrozivë, siç janë gdhendja dhe implantimi jonik, këto doreza tregojnë rezistencë të jashtëzakonshme kimike. Pas testimit 24-orësh të zhytjes në reagentë gjysmëpërçues të zakonshëm si acidi hidrofluorik dhe acidi fosforik, ato nuk shfaqin ënjtje ose çarje, me një shkallë ndryshimi të peshës nën 0.8%. Kjo siguron mbrojtje të besueshme të duarve për operatorët, duke eliminuar rreziqet e kontaminimit të reagentëve nga dëmtimi i dorezave. Majat e gishtave kanë tekstura anti-rrëshqitëse të gdhendura me lazer 0.02 mm, duke rritur fërkimin me 35% kur trajtohen pllaka 12 inçëshe dhe duke zvogëluar rrezikun e rrëshqitjes së pllakave me 60%. Kjo arrin një ekuilibër midis sigurisë mbrojtëse dhe stabilitetit operativ.

Aktualisht të certifikuara sipas standardeve SEMI F57, këto doreza përdoren në linja prodhimi masiv në fabrikat kryesore të fonderisë, duke përfshirë SMIC dhe Hua Hong Semiconductor. Ato zvogëlojnë shkallën e skrapit të pllakave të shkaktuara nga kontakti me duart me 38%, duke u bërë zgjedhja ideale në prodhimin e gjysmëpërçuesve për balancimin e mbrojtjes së dhomave të pastra me efikasitetin operacional.